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    渦輪分子泵工作原理是什么?

    2016-8-29 15:12:40 eycms 12

      渦輪分子泵是一個在真空室和分子泵之間沒有閥門、冷阱的超高真空系統,其粗抽管道和前級管道與擴散泵抽汽系統相同,分子泵的前級泵的大小的要求卻和擴散泵不同。擴散泵的正常運轉要求前級泵具有足夠大的抽速,在最大排氣量時確保前級壓強低與擴散泵林界前級壓力,渦輪分子泵則要求選擇具有足夠容量的前級泵,使最靠緊前級管道的葉片在最大排氣量時處于分子流或者正好處于過渡流。

      大多數分子泵在最大排氣量時的壓縮比或前級泵的抽速與分子泵的抽速之比,在30-60之間。要求前級管道氫分壓小的系統,配置的抽速比為20:1。

      渦輪分子泵對油脂一類大分子的壓縮比較高,屬于較清潔的真空泵,由承半無油泵,不需要液氮冷阱阻止軸承潤滑或機械泵泵液返流。裝在真空室和分子泵之間的液氮阱的主要用途時提高系統對水蒸氣的抽速,可以縮短烘烤去氣時間。

      相同的道理,渦輪分子泵抽汽系統不需要粗抽阱和前級管道冷阱,粗抽時需要采用100-1050Pa的切換圧力,就能有效防止機械泵油通過粗抽管道遷移到真空室中去。

      渦輪分子泵對氫的壓縮比和前級氫分壓時影響極限壓力的重要原因之一,降低前級氫分壓,能夠提高渦輪分子泵的極限壓力。高壓縮比的渦輪分子泵,用兩級旋片機械泵做前級,極限壓力約為5x10-9Pa,用擴散泵作前級時,可提高到1x10-9Pa,在真空室與分子泵之間增加一個鈦吸附阱或液氮分子篩吸附阱,其極限壓力可低于10-9Pa。

      用于大流量的渦輪分子泵抽汽系統,如刻蝕機等,需要抽除放入的大量工藝用氣體,當進口壓力過高時,氣流的摩擦組力會使轉速轉慢,將使對氫的壓縮比迅速降低。渦輪泵時HanLon給出的一臺前級泵35m3/h,巴爾采斯公司抽速400L/s分子泵進口壓力與抽速的實驗曲線。入口壓力增大到0.9Pa時,曲線出現拐點,采用較大的前級泵,曲線A段將向右移動,反之將向左移動。避免抽速下降的方法是在泵入口處設置限流閥,根據抽氣流量不變原理,讓真空室維持需要的工藝壓力的同時,分子泵仍處于全速運轉的抵低壓狀態。

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